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第391章 研究高精度光刻机（第3页）
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遵旨就是一个字“拖”，拖到他放弃。
随着时间的发酵，假肢技术先是传到邻国，慢慢传向西方发达国家。
不过这些发达国家根本没有当回事，以为东方大国这次又是放卫星。
这种技术，他们很多实验室都在研究，目前还处于理论阶段。
东方大国却说已经运用于实际，他们怎么可能相信。
所以，这件事暂时没有引起这些大国的关注，只是作为茶余饭后的笑谈。
目前只有腿部假肢，上肢的假肢还没有推出产品。
不过已经得到大量的反馈，阎解放汇报给李元，李元不得不面对。
他把这个任务交给女娲1号，让她依据现有下肢假肢推导出上肢假肢。
安排好一切，再次把精力放到了西楼。
过去停下的工作，他需要带着大家重新搞起来。
重点项目便是光刻机，这个将决定蛇口的三期工程。
同时也是向国家展示实验室实力的最有效、最快速的手段。
目前牵头之人是龚师兄，刘杨负责刻蚀机和材料，艾老师负责封测。
随着激光技术的成熟，光刻机的精度可以直接进入微米级，最低设计指标是1微米，最高期望指标是达到480纳米。
设计思路李元已经反复确认多次，接下来就需要他们解决实际的问题，并做出成品。
与老版最大的区别便是，EdA软件把设计图纸直接导入光刻机，然后由光刻机来制作掩膜板。
如此，才能形成设计闭环。
过去的掩膜板国内一直使用的合金铜，现在是在石英玻璃基板上进行图形转移。
由于石英玻璃的化学性能稳定、光学透过率高、热膨胀系数低，所以，后世很长时间一直采用。
制作过程和芯片过程类似，都是图档处理、光阻涂布、激光光刻、显影、蚀刻、脱膜、清洗、宏观检查、自动光学检查、精度测量、缺陷处理、贴光学膜等环节。
这些过去大家都较为熟悉，都是成熟的技术。
唯一的不同便是使用的涂料不同。
李元把所有的资料丢给了龚师兄，他再次回到东楼办公室，开始测试飞控系统。
再有一个月，便要几方联调，他需要为各种情景准备预案，避免到时手忙脚乱，耽误项目进度。
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